電子級氫氧化鉀純級分類有哪些區別
氫氧化鉀化學式:KOH,又名苛性鉀、苛性堿、鉀灰。外觀為白色粉末狀固體,用途十分廣泛,多用于干燥、電鍍、化工原料。純品的氫氧化鉀為白色的斜方結晶,而工業品則多為白色或淡灰色的塊狀或棒狀固體。
電子級氫氧化鉀可分為UP—S級、UP級、EL級三類:
1、UP-S級:適用0.35-0.8微米集成電路加工工藝,金屬雜質含量小于1ppb,經過0.05微米孔徑過濾器過濾,控制0.2微米粒子,在100級凈化環境中灌裝達到SEMI C8標準。
2、UP級:適用1微米集成電路及TFT-LCD制造工藝,金屬雜質含量小于10ppb,經過0.2微米孔徑過濾器過濾,控制0.5微米粒子,在100級凈化環境中灌裝,達到SEMI C7標準
3、EL級:金屬雜質含量小于100ppb,控制1微米粒徑粒子,達到SEMI C1 C2標準,適合中小規模集成電路及電子元件加工工藝。
電子級氫氧化鉀純度要求十分高,主要應用于制備電子設備,尤其是近年來微小化電子設備的發展,對電子級試劑的應用就顯得尤為重要。
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